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真空泵是一個(gè)設(shè)備，氣體分子從一個(gè)密封的卷中刪除以留下一個(gè)局部真空。第一臺(tái)真空泵于1650年由奧托馮居里克發(fā)明 。
剖視圖的一個(gè)渦輪分子高真空泵
真空泵類型
泵，大致可分為三種技術(shù)：
容積式泵使用一種機(jī)制，一再擴(kuò)大腔，使氣體流室，密封腔，它排氣的氣氛。
動(dòng)量傳輸泵，也被稱為分子泵 ，利用高速噴射密集的液體或高速旋轉(zhuǎn)的刀片敲室中的氣體分子。
圈套泵捕獲氣體中的固體或吸附狀態(tài)。這包括低溫泵 ， 干將 ， 離子泵 。
容積式泵是最有效的低真空。在與一個(gè)或兩個(gè)正排量泵的動(dòng)量傳輸泵是最常見的配置，用來實(shí)現(xiàn)高真空。在此配置中的正排量泵有兩個(gè)目的。首先，它獲得粗真空中的動(dòng)量傳輸泵前可以用來獲得高真空，動(dòng)量傳輸泵無法啟動(dòng)抽水大氣壓力的船只被疏散。第二，正排量泵備份撤離到低真空流離失所分子在高真空泵的積累動(dòng)量傳輸泵。圈套泵可達(dá)到超高真空，但他們需要定期再生的表面陷阱空氣分子或離子。由于這項(xiàng)規(guī)定其現(xiàn)有的運(yùn)行時(shí)間可不能接受的低和高真空，從而限制了其使用超高真空。泵制造公差等細(xì)節(jié)也不同，密封材料，壓力，流量，入院時(shí)或入場(chǎng)無油蒸汽，維修間隔時(shí)間，可靠性，耐灰塵，耐化學(xué)品，耐液體和振動(dòng)。
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作者:德耐爾@德耐爾空壓機(jī) 空壓機(jī)修訂日期：2011-10-24
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